氣體質量流量計/控制器
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Line Tech氣體質量流量控制器
產品特點：
- 快速的響應時間
- 無泄漏
- 較好的抗腐蝕性
- 卓越的線性
- 較高的長期穩定性
- 寬泛的壓力范圍
- 模塊化設計
- 較高性價比
技術指標：
流量范圍
10SCCM-125SLPM
響應時間
≤2sec
準確度
≤1%FS
重復精度
±0.25%
輸入/輸出信號
0-5VDC,4-20mA
供電電源
+15~28VDC,350mA
耐壓
<9MPa
工作環境溫度
0-50℃
泄漏率
1*10-9atm.cc/sec