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氣體質量流量計/控制器

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Line Tech氣體質量流量計

 

 產品特點:

快速的響應時間

無泄漏

優秀的抗腐蝕性

極好的線性

較高的長期穩定性

寬泛的壓力范圍

模塊化設計

較高的性價比

 

技術指標:

流量范圍
10SCCM-125SLPM
響應時間
2sec
準確度
1%FS
重復精度
±0.25%
輸入/輸出信號
0-5VDC,4-20mA
供電電源
+15~28VDC,350mA
耐壓
<9MPa
工作環境溫度
0-50
泄漏率
1*10-9atm.cc/sec

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