氣體質量流量計/控制器
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Alicat氣體質量流量計
產品特點：
滿量程從0.5(S)CCM到2000(S)LPM
響應時間10ms
量程比優于100：1
精度±0.8％讀數±0.2％滿量程（可選±0.4％讀數±0.2％滿量程）
帶本地顯示、并標配RS-232和模擬信號輸出形式。
可顯示多種參數，質量流量、體積流量、溫度和絕對壓力。
自動復位或在顯示屏上按鍵復位
不受壓力和溫度變化的影響
無需預熱
安裝位置不敏感
現場可選30種校驗氣體
技術指標：
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指標 |
質量流量計 |
體積流量計 |
描述 |
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標準量程 |
0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500 (S)CCM 1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500，2000SLPM |
滿量程 |
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精度 |
±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程） |
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重復性 |
±0.2% |
滿量程 |
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量程比 |
100:1 |
測量 |
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響應時間 |
10 |
毫秒（可調） |
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標準狀態(STP) |
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無 |
僅測量質量流量用 |
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溫度范圍 |
-10～50 |
℃ |
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零點漂移 |
0.02％ |
滿量程/℃/Atm |
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量程漂移 |
0.02％ |
滿量程/℃/Atm |
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濕度范圍 |
0-100% |
無冷凝 |
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測量流量范圍 |
128％（過流率） |
滿量程 |
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最大耐壓 |
145 |
145* |
PSIG |
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輸出信號（數字） |
質量流量、體積流量、絕對壓力和溫度 |
體積流量 |
RS-232串口 |
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輸出信號（模擬） |
質量流量 |
體積流量 |
0-5VDC |
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可選輸出信號 第二路模擬輸出 |
質量流量、體積流量、絕對壓力或溫度 |
體積流量 |
0-5VDC,0-10VDC或4-20mA |
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電氣連接 |
8針 |
小型圓插頭 |
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供電電壓 |
7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
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供電電流 |
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安裝位置敏感度 |
0% |
安裝后須清零 |
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預熱時間 |
＜1 |
秒 |
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接液材質 |
303&302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，鋁 |
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* 對于體積流量計，若入口壓力＞10PSIG時，須同廠家聯系。 |
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本地顯示：
ALICAT所有產品均提供本地顯示作為標準配置（無顯示產品可以用于OEM）。氣體質量流量計和體積流量計在主顯示上均提供了不同的過程參數信息，用戶通過按鍵可以選擇主顯示（Main Mode Display）和所測的氣體。
數字輸出（RS-232）：
所有的ALICAT產品均具有標準的RS-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業連接頭傳輸。使用ALICAT的RS-232輸出或輸入通訊串口無需特別軟件。任何帶有終端程序的設備，例如Windows®操作系統里的“超級終端”，均可以使用我們的ALICAT產品。RS-232可以實現本地顯示上的所有操作功能，例如：清零、更換校驗氣體等。
對于質量流量計和體積流量計，通過RS-232所顯示的過程參數同其本地顯示上數據是一致的。所有的產品均可以根據用戶的選擇配置為流動模式或輪循模式。
模擬輸出：
模擬信號通訊同樣是由RS-232接口的8針圓形接頭來提供。默認的模擬輸出信號是0-5VDC，可選擇0-10VDC或4-20mA的輸出信號。
ALICAT質量流量計提供0-5VDC輸出“質量流量”，同時可選第二路單獨模擬信號輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。
ALICAT體積流量計提供0-5VDC輸出“體積流量”。